Lithography Machine Mask Aligner Photoching Machine
Vöru kynning
Útsetning ljósgjafans samþykkir innflutt UV LED og ljósgjafaeining með litlum hita og góðum stöðugleika ljósgjafa.
Andhverfa lýsingarbyggingin hefur góð áhrif á hitaleiðni og náin áhrif ljósgjafa og skipti og viðhald kvikasilfurslampans eru einföld og þægileg. Búin með mikilli stækkun tvöfaldra sviði smásjá og 21 tommu breiðskjá LCD, það er hægt að samræma það sjónrænt í gegn
augngler eða CCD + skjá, með mikilli nákvæmni, leiðandi ferli og þægilegri notkun.
Eiginleikar
Með brotvinnsluaðgerð
Jafna snertiþrýsting tryggir endurtekningarhæfni með skynjara
Hægt er að stilla jöfnunarbilið og útsetningarbilið stafrænt
Notkun innbyggðrar tölvu + snertiskjás, einföld og þægileg, falleg og rausnarleg
Dragðu tegund upp og niður plötu, einföld og þægileg
Styðja við váhrif á lofttæmi, útsetning fyrir snertingu, útsetningu fyrir snertingu við þrýstingi og útsetningu fyrir nálægð
Með Nano Imprint Interface aðgerð
Útsetning fyrir einum lag með einum lykli, mikil sjálfvirkni
Þessi vél hefur góða áreiðanleika og þægilegan sýnikennslu, sérstaklega hentugur fyrir kennslu, vísindarannsóknir og verksmiðjur í framhaldsskólum og háskólum
Nánari upplýsingar
Forskrift
1. Váhrif: 110mm × 110mm ；
2. ★ Bylgjulengd útsetningar: 365nm;
3. upplausn: ≤ 1m;
4.. Samræmingarnákvæmni: 0,8 m;
5. Hreyfissvið skannatöflunnar á jöfnunarkerfinu skal að minnsta kosti uppfylla: Y: 10mm;
6. Vinstri og hægri ljósör í röðunarkerfinu geta hreyft sig í x, y og z áttum, x átt: ± 5mm, y stefna: ± 5mm og z átt: ± 5mm;
7. Maskastærð: 2,5 tommur, 3 tommur, 4 tommur, 5 tommur;
8. Sýnishornastærð: brot, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ Hentar fyrir þykkt sýnisins: 0,5-6mm og geta stutt 20mm sýnishorn í mesta lagi (sérsniðin);
10. Útsetningarstilling: Tímasetning (niðurtalningarstilling);
11. Óeðlileg lýsing: ＜ 2,5%;
12. Dual Field CCD röðun smásjá: Aðdráttarlinsa (1-5 sinnum) + MIKLAR MIKLUM LINN;
13. Hreyfingin á grímunni miðað við úrtakið skal að minnsta kosti mæta: x: 5mm; Y: 5mm; : 6º ；
14. ★ VIÐSKIPTI orkuþéttleiki:> 30mw / cm2,
15. ★ Jöfnun staða og útsetningarstaða vinna á tveimur stöðvum og tveir Servo Motor skiptir sjálfkrafa;
16. Að jafna snertiþrýsting tryggir endurtekningarhæfni með skynjara;
17. ★ Hægt er að stilla jöfnunarbilið og útsetningarbilið stafrænt;
18. ★ Það er með Nano -merkisviðmót og nálægðarviðmót;
19. ★ Snertiskjár aðgerð;
20. Heildarvídd: um 1400mm (lengd) 900mm (breidd) 1500mm (hæð).
