Lithography Machine Mask Aligner Photo-Eching Machine
Vörukynning
Útsetningarljósgjafinn samþykkir innflutta UV LED og ljósgjafa mótunareiningu, með litlum hita og góðum ljósgjafastöðugleika.
Hvolf lýsingarbyggingin hefur góða hitaleiðniáhrif og ljósgjafa nálægan áhrif og skipting og viðhald á kvikasilfurslampa eru einföld og þægileg. Útbúinn með tvísjónauka tvísviðs smásjá með mikilli stækkun og 21 tommu breiðskjá LCD, er hægt að stilla það sjónrænt í gegnum
augngler eða CCD + skjár, með mikilli nákvæmni í röðun, leiðandi ferli og þægilegri notkun.
Eiginleikar
Með brotavinnsluaðgerð
Jöfnun snertiþrýstings tryggir endurtekningarhæfni í gegnum skynjara
Hægt er að stilla jöfnunarbilið og lýsingarbilið stafrænt
Notkun innbyggðrar tölvu + snertiskjás, einfalt og þægilegt, fallegt og rausnarlegt
Dragðu upp og niður plötu, einfalt og þægilegt
Styðjið snertingu við lofttæmi, snertingu við harða snertingu, snertingu við þrýsting og snertingu við nálægð
Með nano áprentunarviðmótsaðgerð
Eins lags útsetning með einum takka, mikil sjálfvirkni
Þessi vél hefur góðan áreiðanleika og þægilegan sýnikennslu, sérstaklega hentug fyrir kennslu, vísindarannsóknir og verksmiðjur í framhaldsskólum og háskólum
Nánari upplýsingar
Forskrift
1. Lýsingarsvæði: 110 mm × 110 mm;
2. ★ Útsetning bylgjulengd: 365nm;
3. Upplausn: ≤ 1m;
4. Jöfnunarnákvæmni: 0,8m;
5. Hreyfingarsvið skannaborðs stillikerfisins skal að minnsta kosti uppfylla: Y: 10 mm;
6. Vinstri og hægri ljósrörin í jöfnunarkerfinu geta hreyfst sérstaklega í X, y og Z áttir, X átt: ± 5mm, Y átt: ± 5mm og Z átt: ± 5mm;
7. Grímustærð: 2,5 tommur, 3 tommur, 4 tommur, 5 tommur;
8. Sýnisstærð: brot, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ Hentar fyrir sýnisþykkt: 0,5-6mm, og getur stutt 20mm sýnishorn í mesta lagi (sérsniðin);
10. Lýsingarstilling: tímasetning (niðurtalningarstilling);
11. Ójafnvægi lýsingar: ＜ 2,5%;
12. Dual field CCD alignment smásjá: aðdráttarlinsa (1-5 sinnum) + smásjá hlutlæg linsa;
13. Hreyfislag grímunnar miðað við sýnishornið skal að minnsta kosti uppfylla: X: 5 mm; Y: 5mm; : 6º；
14. ★ Orkuþéttleiki lýsingar: > 30MW / cm2,
15. ★ Jöfnunarstaða og útsetningarstaða virka á tveimur stöðvum og servómótorinn á tveimur stöðvum skiptir sjálfkrafa;
16. Jöfnun snertiþrýstings tryggir endurtekningarhæfni í gegnum skynjara;
17. ★ Hægt er að stilla jöfnunarbilið og útsetningarbilið stafrænt;
18. ★ Það hefur nano áprentunarviðmót og nálægðarviðmót;
19. ★ Snertiskjáraðgerð;
20. Heildarmál: Um 1400mm (lengd) 900mm (breidd) 1500mm (hæð).
